Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Plasma-assisted atomic layer deposition of alumina at room temperature

Poster at 17th Workshop on Dielectrics in Microelectronics (WoDiM 2012), June 25-27, 2012, Dresden
 
: Lemberger, Martin; Fromm, Timo; Rommel, Mathias; Bauer, Anton J.; Frey, Lothar

:
Poster urn:nbn:de:0011-n-2084653 (4.4 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: 4c1b40fb8c0dacfad3e894bfdf78d009
Erstellt am: 19.7.2012


2012, 1 Folie
Workshop on Dielectrics in Microelectronics (WoDiM) <17, 2012, Dresden>
Englisch
Poster, Elektronische Publikation
Fraunhofer IISB ()
PEALD; ALD; Al2O3; current conduction mechanisms

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-208465.html