Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Approaches for the reduction of the influence of parasitic capacitances on local IV characteristics for conductive AFM

Presentations held at 17th Workshop on Dielectrics in Microelectronics, June 25-27, Dresden, Germany
 
: Rommel, Mathias

:
Präsentation urn:nbn:de:0011-n-2084642 (6.6 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: f37b324c12932601aba176f1b022f227
Erstellt am: 19.7.2012


2012, 29 Folien
Workshop on Dielectrics in Microelectronics (WoDiM) <17, 2012, Dresden>
Englisch
Vortrag, Elektronische Publikation
Fraunhofer IISB ()
tunneling AFM; TUNA; conductive AFM; cAFM; parasitic capacitance; displacement current; shielded AFM probes

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-208464.html