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2012
Conference Paper
Titel
Qualitätssicherung durch Inline-Monitoring der Oberflächeneigenschaften
Abstract
Für zuverlässige Beschichtungsprozesse ist eine Prozessüberwachung der Reinigung durch ein Oberflächen-Monitoring notwendig. Durch das Monitoring können Prozessschwankungen erkannt und Schadensfälle oder Nacharbeit vermieden werden. Das Oberflächen-Monitoring kann in der Produktion zur Erfassung von Verunreinigungen (z.B. Öle), zur Überwachung der Vorbehandlung oder zum Nachweis von Vorbehandlungen eingesetzt werden. Für die automatisierte Qualitätssicherung müssen die Verfahren eine ausreichende Nachweisempfindlichkeit haben und die Oberfläche nicht negativ beeinflussen. Es kommen vor allem optische Verfahren (Ellipsometrie, Reflektometrie, Streulichtsensor), spektroskopische Verfahren und Benetzungstests zum Einsatz. Von den spektroskopischen Verfahren sind besonders die laserinduzierte Plasma-Spektroskopie (LIPS) und die laserinduzierte Fluoreszenz (LIF) von Bedeutung, um Oberflächenverunreinigungen zu detektieren. Berührungslose Rauigkeitsmessungen können mit Rauheitssensoren durchgeführt werden. Durch Reflektometrie kann die Oxidschichtdicke nach nasschemischer Behandlung berührungsfrei gemessen werden. Die Benetzungsprüfung durch einen Aerosolnebel besteht in der Bestimmung der Tropfengrößenverteilung nach Aufsprühen des Aerosols. Bei schlechter Benetzung bilden sich kleine Tropen, bei guter Benetzung große Tropfen.