Fraunhofer-Gesellschaft

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Fertigung magnetischer Schichten

 
: Budde, T.; Föhse, M.; Majjer, B.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H.

Hesselbach, J. ; TU Braunschweig, Institut für Werkzeugmaschinen und Fertigungstechnik -IWF-:
Kolloquium Mikroproduktion. Tagungsband : Eine Kooperation der Sonderforschungsbereiche 440, 499, 516
Essen: Vulkan-Verlag, 2003 (Schriftenreihe des IWF)
ISBN: 3-8027-8670-X
S.85-94
Kolloquium Mikroproduktion <2003, Braunschweig>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()

Abstract
Im Bereich der Herstellung weichmagnetischer Schichten wurden NiFe-Legierungen unterschiedlicher Zusammensetzung untersucht, die mittels verschiedener Verfahren hergestellt wurden. Als Verfahren kamen galvanische Abscheidung, Kathodenzerstäubung sowie Gasflusssputtern zum Einsatz. Alle drei Verfahren eignen sich zur Herstellung von dicken weichmagnetischen Schichten, wie sie für Mikroaktoren notwendig sind. Durch Galvanik konnten NiFe 81/19 Schichten mit einer Dicke von bis zu 70 Mikrometer hergestellt werden. Ferner ermöglicht die Verwendung der alternativen Zusammensetzung NiFe 45/55 die Abscheidung weichmagnetischer Schichten mit hoher Sättigungsinduktion, wodurch bei gleicher magnetischer Durchflutung eine Reduktion der erforderlichen Schichtdicken in den Mikrosystemen erzielt werden kann. Als weitere Technologie zur Abscheidung weichmagnetischer Werkstoffe wird Gasflusssputtern untersucht, das in ersten Versuchsreihen eine hohe Abscheiderate aufwies, die der der Galvanik gleichzusetzen ist und somit eine gute Alternative darstellt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-20179.html