Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Parametric variational finite element method for MEMS electrostatic problems

 
: Shaporin, A.; Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Dötzel, W.

Falter, B. ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
10. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2004. Tagungsband : Mit dem Schwerpunkt Integration von Mikrosystemen - Methoden und Prozesse und den gemeinsamen Abschlussseminaren zu den BMBF-Verbundprojekten EIWOS, MODSYS, REMIKOS; 20. bis 22. Oktober 2004, Cottbus
Paderborn: FhG IZM - Advanced System Engineering, 2004
S.39-46
Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen <10, 2004, Cottbus>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-199312.html