Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Selektives Niedertemperaturbonden mit SU-8 für Wafer-Level-Verkappung von mikromechanischen Strukturen

 
: Reuter, D.; Frömel, J.; Schwenzer, G.; Bertz, A.; Geßner, T.

Dötzel, W. ; TU Chemnitz:
Mikrosystemtechnik Chemnitz '03. Mikromechanik & Mikroelektronik : 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 29./30. Oktober 2003
Chemnitz: Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik, 2003
ISBN: 3-00-011655-9
S.90-94
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <6, 2003, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-199291.html