Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Application of low temperature direct bonding in optical devices and integrated systems

 
: Hiller, K.; Kurth, S.; Neumann, N.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Hanf, M.; Heinz, S.; Geßner, T.; Dötzel, W.; Ebest, G.

Reichl, H. ; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin; MESAGO Messe Frankfurt GmbH, Stuttgart:
Micro System Technologies 2003 : International Conference & Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, München, October 7-8, 2003
Poing: Franzis, 2003
ISBN: 3-7723-7020-9
S.102-109
International Conference on Micro-, Electro-, Opto-, Mechanical Systems and Components <2003, München>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-199281.html