Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

High aspect ratio micromachining using the AIM technology

 
: Lohmann, C.; Reuter, D.; Bertz, A.; Geßner, T.

Michel, B.; Aschenbrenner, R.:
The world of electronic packaging and system integration : Anniversary edition 60th birthday of Herbert Reichl
Dresden: ddp Goldenbogen, 2004
ISBN: 3-932434-76-5
ISBN: 978-3-932434-76-1
S.544-548
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-199268.html