Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Flexible Herstellung und Charakterisierung von Inertialsensoren basierend auf der AIM-Technologie

 
: Lohmann, C.; Bertz, A.; Reuter, D.; Küchler, M.; Geßner, T.

Zengerle, R. ; Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg
Berlin: VDE-Verlag, 2005
ISBN: 3-8007-2926-1
ISBN: 978-3-8007-2926-5
S.539-542
Mikrosystemtechnik Kongress <2005, Freiburg>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-199266.html