Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Fabrication of embedded micro-channels by intended under-etching and trench filling

 
: Jia, Chenping; Wiemer, M.; Müller, R.; Otto, T.; Geßner, T.

Reichl, H. ; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin:
Micro System Technologies 2005 : Micro Electro, Opto, Mechanical Systems & Components International Conference & Exhibition, October 5-6, 2005, Munich, Germany
Poing: Franzis, 2005
ISBN: 3-7723-7040-3
S.71-75
International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems & Components <2005, München>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-199247.html