Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Efficient and flexible high aspect ratio micromachining for the fabrication of low-g-sensors

 
: Bertz, A.; Lohmann, C.; Reuter, D.; Geßner, T.

Michel, B. ; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin:
MicroCar 2005. Micro materials, nano materials for automotives. Volume of Abstracts : Leipzig; 21.-22.06.2005
Berlin, 2005 (Micromaterials and Nanomaterials 2005, Nr.4)
ISSN: 1619-2486
S.79
MicroCar <2005, Leipzig>
Englisch
Abstract
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-199245.html