Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Validierung der AIM Technologie: Darstellung der Leistungsfähigkeit anhand hergestellter Sensor- und Aktorstrukturen
| Dötzel, W.:
Mikro-System-Technik Chemnitz '05: Mikromechanik & Mikroelektronik : 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2005
ISBN: 3-00-016889-3
S.166-171 |
| Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik <7, 2005, Chemnitz> |
|
| Deutsch |
| Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer ENAS () |