Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Validierung der AIM Technologie: Darstellung der Leistungsfähigkeit anhand hergestellter Sensor- und Aktorstrukturen

 
: Lohmann, C.; Bertz, A.; Reuter, D.; Küchler, M.; Geßner, T.

Dötzel, W.:
Mikro-System-Technik Chemnitz '05: Mikromechanik & Mikroelektronik : 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2005
ISBN: 3-00-016889-3
S.166-171
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik <7, 2005, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-199244.html