Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Electrostatic force coupling of MEMS oscillators for spectral vibration measurements

 

Enoksson, P.:
Eurosensors XX. Proceedings : 20th Anniversary. Göteborg, Sweden, 17 - 20 September 2006
Göteborg, 2006
ISBN: 91-631-9280-2
ISBN: 978-91-631-9280-7
Paper M2B-O2
Eurosensors <20, 2006, Göteborg>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-199232.html