Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Fortschritte in der Anwendung des tiefen Siliziumätzens (DRIE).

 
: Kuechler, M.; Hofmann, L.; Hahn, R.; Bertz, A.; Gessner, T.

Dittrich, C. ; TU Chemnitz:
Mikro-System-Technik Chemnitz 2010. Mikromechanik & Mikroelektronik : 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; 20./21. Oktober 2010
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2010
ISBN: 978-3-00-032052-1
S.60-64
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik <10, 2010, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-199007.html