Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Fortschritte in der Anwendung des tiefen Siliziumätzens (DRIE).
| Dittrich, C. ; TU Chemnitz:
Mikro-System-Technik Chemnitz 2010. Mikromechanik & Mikroelektronik : 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; 20./21. Oktober 2010
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2010
ISBN: 978-3-00-032052-1
S.60-64 |
| Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik <10, 2010, Chemnitz> |
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| Deutsch |
| Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer ENAS () |