Fraunhofer-Gesellschaft

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Gütebestimmung von MEMS-Strukturen im Zeitbereich mittels Laser Doppler Vibrometer und einem Logarithmierer

Time domain Q-measurement of MEMS structures using a laser doppler vibrometer and a logarithmizer
 
: Voigt, S.; Tenholte, D.; Franke, D.; Reuter, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Mehner, J.

Dittrich, C. ; TU Chemnitz:
Mikro-System-Technik Chemnitz 2010. Mikromechanik & Mikroelektronik : 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; 20./21. Oktober 2010
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2010
ISBN: 978-3-00-032052-1
S.55-59
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik <10, 2010, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-198998.html