Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Entwicklung einer Verkappungstechnologie für optisch transparente MEMS/NEMS-Gehäuse mit niedrigem Temperatureintrag
| Schlaak, H.F. ; Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-, Deutschland; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-:
MikroSystemTechnik Kongress 2011 : 10.-12. Oktober 2011, Darmstadt
Berlin: VDE-Verlag, 2011
ISBN: 978-3-8007-3367-5
S.249-252 |
| MikroSystemTechnik Kongress <2011, Darmstadt> |
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| Deutsch |
| Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer ENAS () |