Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Plasma-activated bonding
| Ramm, P.; Lu, J.J.-Q.; Taklo, M.M.V.:
Handbook of wafer bonding
Weinheim: Wiley-VCH, 2012
ISBN: 3-527-32646-4
ISBN: 978-3-527-32646-4
ISBN: 978-3-527-64424-7
DOI: 10.1002/9783527644223
S.101-118 |
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| Aufsatz in Buch |
| Fraunhofer ENAS () |