Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Plasma-activated bonding

 
: Wiemer, M.; Wuensch, D.; Braeuer, J.; Gessner, T.

:

Ramm, P.; Lu, J.J.-Q.; Taklo, M.M.V.:
Handbook of wafer bonding
Weinheim: Wiley-VCH, 2012
ISBN: 3-527-32646-4
ISBN: 978-3-527-32646-4
ISBN: 978-3-527-64424-7
DOI: 10.1002/9783527644223
S.101-118
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-198865.html