Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Light processing with electrostatically driven micro scanning mirrors and micro mirror arrays

 
: Schenk, H.; Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Gehner, A.; Wolter, A.; Lakner, H.

Knobloch, H.; Kaminorz, Y.:
MicroNano Integration
Berlin: Springer, 2004 (VDI-Buch)
ISBN: 3-540-20252-8
S.89-96
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-19544.html