Fraunhofer-Gesellschaft

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Neue multiskalige Mess-, Steuer- und Prüfstrategien für die Prüfung von Mikro- und Nanosystemen in der Produktion

 
: Lyda, Wolfram; Burla, Avinash; Haist, Tobias; Osten, Wolfgang; Zimmermann, Jan; Sawodny, Oliver; Eigenbrod, Hartmut; Westkämper, Engelbert

Weckenmann, Albert (Hrsg.) ; Deutsche Forschungsgemeinschaft -DFG-, Bonn; Univ. Erlangen-Nürnberg, Lehrstuhl Qualitätsmanagement und Fertigungsmesstechnik:
Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen : Abschlussbericht DFG-Schwerpunktprogramm 1159 StraMNano
Aachen: Shaker, 2011
ISBN: 978-3-8440-0358-1
S.67-81
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IPA ()
Mikrosystemtechnik; Nanotechnik; Messen; Prüfung

Abstract
Moderne Produkte enthalten zunehmend Komponenten mit funktionellen Mikro- und Nanostrukturen. Daraus resultieren erhöhte Anforderungen an die zum Einsatz kommende Mess- und Prüftechnik, da eine vollständige Bewertung dieser Komponenten auf kleinster Messskala unverhältnismäßig zeitaufwendig ist. Im Rahmen dieses Artikels wird eine neuartige automatische, multiskalige Mess- und Prüfstrategie vorgestellt, die adaptiv verschiedene Messgeräte auf verschiedenen Skalen zum Einsatz bringt und somit die Mess- und Prüfzeit deutlich reduziert. Die Leistungsfähigkeit dieses Ansatz wird anhand eine Demonstrators nachgewiesen, mit dem zwei unterschiedliche Komponenten aus den Bereichen MEMS und DOE geprüft wurden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-193204.html