Options
2011
Conference Proceeding
Titel
Outgassing of clean room suitable materials (CSM)
Titel Supplements
CSM Workshop Meeting, 6.12.2011, Tokyo, Japan
Organisation
Agilent Technologies Deutschland GmbH, Böblingen
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart
Markes International, Cincinnati/Ohio
ENV Sciences Trading
Verlagsort
Tokyo