Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Non-reactive and reactive ion etching processes for patterning magnet MEMS components

 
: Balke, M.; Lüthje, H.; Budde, T.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G.

Büttgenbach, S.; Westkämper, E. ; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-:
MICRO.tec 2003: Applications - trends - visions. Proceedings : 2nd VDE World Microtechnologies Congress, October 13 - 15, 2003, International Congress Centre, Munich, Germany
Berlin: VDE Verlag, 2003
ISBN: 3-8007-2791-9
S.51-52
World Microtechnologies Congress (MICRO.tec) <2, 2003, München>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IST ()
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-19020.html