Fraunhofer-Gesellschaft

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Intelligente Bildverarbeitung für Naßätzprozesse

 
: Koch, M.; Knobloch, J.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden:
Moderne Signalverarbeitung in der Mikrosystemtechnik : Workshop im Rahmen des Verbundprojektes MIDAS (Mikrosysteme für Diagnose, Steuerungen und Regler) ; Dresden, 28. März 2000 im Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme
Dresden, 2000
S.104-112
Workshop Moderne Signalverarbeitung in der Mikrosystemtechnik <2000, Dresden>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
intelligente Bildverarbeitung; Naßätzprozeß; Fuzzy-Methode; Bildverarbeitung

Abstract
Um die exakte Dauer von Naßätzprozessen zu bestimmen, wurde ein Zusatzgerät für Einzelscheibenätzer entwickelt, das die optischen Eigenschaften der Wafer-Oberfläche durch eine Kamera analysiert. Die Bildverarbeitung erfolgt auf normaler PC-Hardware. Der Aufbau einer modularen Software-Architektur wird beschrieben, und Ergebnisse bei der Anwendung von Fuzzy-Methoden für verschiedene Teilaufgaben werden diskutiert.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-1900.html