Fraunhofer-Gesellschaft

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Atomic Layer Deposition. Kratz- und korrosionsfeste Beschichtungen auf komplexen 3D-Bauteilen

Atomic Layer Deposition. Scratch and corrosion resistant coats on complex 3D-components
 
: Szyszka, B.; Tholense, H.

:

JOT. Journal für Oberflächentechnik 51 (2011), Nr.9, S.48-51
ISSN: 0940-8789
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IST ()

Abstract
Die Bauteilbeschichtung mit ALD (Atomic Layer Deposition) ist ein besonders leistungsfähiges CVD-Beschichtungsverfahren, das auch komplexeste 3D-Geometrien mit Hinterschneidungen oder Bohrungen defektarm beschichten kann. Die Methode ist reproduzierbar und äußerst präzise. Durch die Möglichkeit der parallelen Beschichtung bleiben die Kosten dennoch im Rahmen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-189204.html