Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

MST 2000+

Mikrosystemtechnik des 21. Jahrhunderts
 
: Ehret, P.; Pelka, J.; Reichl, H.
: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. -FhG-, München; Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik

München, 1999, 34 S.
Deutsch
Buch
Fraunhofer IZM ()
Mikrosystemtechnik

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-186.html