Fraunhofer-Gesellschaft

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Transparentes leitfähiges TiO2:Nb - ein TCO-Material der Zukunft?

Neue TCO Materialien für die transparente Elektronik und Photovoltaik
Transparent conductive TiO2:Nb - a TCO material of the future?
 
: Junghähnel, M.; Kopte, T.; Zywitzki, O.

:

Vakuum in Forschung und Praxis 23 (2011), Nr.4, S.22-28
ISSN: 0947-076X
ISSN: 1522-2454
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer FEP ()
TCO; Photovoltaik

Abstract
Niob dotiertes Titanoxid ist ein noch weitestgehend unbekanntes TCOMaterial. Mittels Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern wurden polykristalline TiO2:Nb-Schichten in einer produktionsähnlichen Beschichtungsanlage abgeschieden und die Eigenschaften der Schichten untersucht. Eine mittels Gleichstrom gesputterte 100 nm dicke TiO2:Nb-Schicht zeigt nach einer thermischen Behandlung bei 450 °C einen niedrigen spez. elektr. Widerstand von 7,2 x 10-4 Ohm cm, einen Extinktionskoeffizienten von 0,02 und eine Transmission im sichtbaren Spektralbereich von 74,8%.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-178101.html