Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Metallisierungsverfahren für die 3D Integration in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik

 
: Hofmann, L.; Ecke, R.; Schulz, S.E.; Gessner, T.

Galvanotechnik (2010), Nr.8, S.1880-1884
ISSN: 0016-4232
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-177649.html