Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Micro scanning mirrors - steps towards volume production

 
: Wolter, A.; Schenk, H.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, München:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Annual Report 2002
Duisburg, 2003
ISSN: 1435-0874
S.56-58
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-17713.html