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Title
Auf Waferebene herstellbarer Chip fuer Fluessigchromatographie sowie Verfahren fuer seine Herstellung
Date Issued
2009
Author(s)
Piechotta, G.
Quenzer, H.
Patent No
102009052234
Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer miniaturisierten Trennsaeule fuer Chromatographiezwecke mit in der Saeule verankerter poroeser stationaerer Phase, umfassend die folgenden Schritte: (a) Bereitstellen eines flaechigen Substrats aus Silizium, Glas, Glaskeramik oder Keramik, (b) Aetzen mindestens einer Kanalstruktur in das flaechige Substrat, (c) Einbringen eines nicht poroesen Vorlaeufermaterials fuer die poroese stationaere Phase in zumindest einen Teil der Kanalstruktur(en), (d) Ausbilden eines poroesen, dreidimensionalen Netzwerks aus dem Vorlaeufermaterial, (e) fluessigkeitsdichtes Abdecken der Kanalstruktur(en) auf der Oberseite des flaechigen Substrats. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine miniaturisierte Trennsaeule fuer Chromatographiezwecke, deren seitliche Waende gebildet sind von einer oder mehreren sich in der Flaeche eines flaechigen Silizium-, Glas-, Glaskeramik- oder Keramiksubstrats erstreckenden Ausnehmungen und einer oder mehreren Abdeckungen der genannten Ausnehmung(en), und die mit einer poroesen, ein dreidimensionales Netzwerk bildenden stationaeren, chemisch oder physikalisch an zumindest einen Teilbereich der Saeulenwaende angebundenen Phase befuellt ist, die aus einem anorganischen oder einem organisch modifizierten anorganischen oder einem organischen Material besteht, ausgewaehlt unter Metallen, Keramiken, ggf. organisch modifizierten Oxiden sowie organischen Polymeren, einen Wafer mit einer Mehrzahl von miniaturisierten ...
DE 102009052234 A1 UPAB: 20110524 NOVELTY - The method involves providing a planar substrate i.e. wafer, made of silicon, glass, glass ceramic material or ceramic material. A channel structure is etched into the planar substrate. Non-porous precursor material e.g. gold, aluminum, silicate glass, silicon oxide and aluminum oxide. for the porous stationary phase is introduced into a part of the channel structure. A porous three-dimensional network is formed from the precursor material. The channel structure is covered on an upper side of the planar substrate in a liquid-tight manner. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a chip with a miniaturized separation column comprising recesses and covers. USE - Method for producing a miniaturized separation column of a chip (all claimed) for on-chip high-pressure liquid chromatography purposes. ADVANTAGE - The channel structure is covered on the upper side of the planar substrate in a liquid-tight manner, thus producing the miniaturized, reliable and reproducible separation column on the wafer plane in a fast manner.
Language
de
Patenprio
DE 102009052234 A: 20091106