Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Piezoelectric behaviour of sputtered aluminium nitride thin film for high frequency ultrasonic sensors

 
: Herzog, T.; Walter, S.; Bartzsch, H.; Gittner, M.; Gloess, D.; Heuer, H.

:

Thompson, D.O. ; American Institute of Physics -AIP-, New York:
Review of progress in quantitative nondestructive evaluation : San Diego, California, 18-23 July 2010, Volume 30A, Volume 30B
New York, N.Y.: AIP Press, 2011 (AIP Conference Proceedings 1335)
ISBN: 978-0-7354-0888-3
ISSN: 0094-243X
S.1663-1670
Annual Review of Progress in Quantitative Nondestructive Evaluation (QNDE) <37, 2010, San Diego/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZFP, Institutsteil Dresden ( IKTS-MD) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-173655.html