Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Influence of dry etch conditions on the performance of recessed gate GaN/AlGaN HEMTs

 
: Pletschen, W.; Kiefer, R.; Müller, S.; Quay, R.; Mikulla, M.; Ambacher, O.

Electrochemical Society -ECS-:
218th ECS meeting abstracts 2010. Vol.3 : Las Vegas, Nevada, USA, 10 - 15 October 2010
Red Hook, NY: Curran, 2011
ISBN: 978-1-617-82094-6
S.1764
Electrochemical Society (Meeting) <218, 2010, Las Vegas/Nev.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IAF ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-169844.html