Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

CMP issues arising from novel materials and concepts in the BEOL of advanced Microelectronic Devices

 

Zwicker, G. ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
ICPT 2007, International Conference on Planarization/CMP Technology. Proceedings : October 25 - 27, 2007, Dresden, Germany
Berlin: VDE-Verlag, 2007
ISBN: 978-3-8007-3065-0
ISBN: 3-8007-3065-0
S.297-302
International Conference on Planarization, CMP Technology (ICPT) <2007, Dresden>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-167643.html