Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Low temperature wafer bonding for microsystems using dielectric barrier discharge

 
: Wünsch, D.; Wiemer, M.; Gabriel, M.; Gessner, T.

MST News (2010), Nr.1, S.24-25
ISSN: 0948-3128
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-167536.html