Fraunhofer-Gesellschaft

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Hochpräzise integrierte Sensorsignalverarbeitung zur Anregung, Kalibrierung und Auswertung von MEMS-Gyroskopen

 
: Köhler, D.; Pohle, A.; Konietzka, S.; Heinz, S.; Lange, A.; Billep, D.; Forke, R.; Horstmann, J.T.; Loebel, K.-U.; Ramsbeck, M.

Dittrich, C. ; TU Chemnitz:
Mikro-System-Technik Chemnitz 2010. Mikromechanik & Mikroelektronik : 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; 20./21. Oktober 2010
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2010
ISBN: 978-3-00-032052-1
S.129-132
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik <10, 2010, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

Abstract
In dieser Arbeit wird gezeigt, wie unter Verwendung der Trägerfrequenztechnik Kapazitätsänderungen eines mikromechanischen Drehratensensors im aF- Bereich sicher detektiert und in optimaler Kombination aus analogen und digitalen Schaltungselementen weiterverarbeitet werden. Ein einheitliches Design der Ausleseketten für die Detektion der Antriebsschwingung und der Detektionsschwingung bildet dabei die Grundlage für eine Signalverarbeitung mit sehr geringem Phasenfehler und damit die Basis für eine stabile Anregung und korrekte Kalibrierung.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-167490.html