Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Schichtherstellung durch Sputtern

 
: Jung, T.

Blasek, G. (Hrsg.); Bräuer, G. (Hrsg.); Nakhosteen, B. (Red.):
Vakuum - Plasma - Technologien. Beschichtung und Modifizierung von Oberflächen. Tl.1
Saulgau: Leuze, 2010
ISBN: 978-3-87480-257-4
S.260-321
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-163156.html