Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Untersuchung von physikalisch-chemischen Effekten bei der Herstellung von alternativen Mikroisolationsstrukturen

 
: Herrmann, A.
: Schenk, H.; Schmeißer, D.

Cottbus, 2011, 99 S.
Cottbus, TU, Master Thesis, 2011
Deutsch
Master Thesis
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-161012.html