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Photoakustischer Sensor sowie Verfahren zu seiner Herstellung und Verwendung

Photo acoustic sensor for use in sensor system for photo acoustic detection of molecules in gas phase, has resonance body and recognizing device that are arranged on substrate, where resonance body is formed by recess of substrate
 
: Schade, W.; Köhring, M.; Schossig, T.

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DE 102009029002 A: 20090828
DE 102009029002 A: 20090828
G01N0021
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer HHI ()

Abstract
(B3) Die Erfindung betrifft einen photoakustischen Sensor, enthaltend einen Resonanzkoerper, welcher einen zur Aufnahme der nachzuweisenden Molekuele bestimmten Raum zumindest teilweise begrenzt und eine Einrichtung zur Erkennung einer Schwingung des Resonanzkoerpers, wobei die Einrichtung zur Erkennung einer Schwingung eine Einrichtung zur optischen Erfassung des Ortes von zumindest einer Teilflaeche des Resonanzkoerpers enthaelt. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zum photoakustischen Nachweis von Molekuelen in der Gasphase sowie ein Verfahren zur Herstellung eines optisch integrierten photoakustischen Sensors.

 

DE 102009029002 B3 UPAB: 20110214 NOVELTY - The sensor has a resonance body (11) partially limiting space that is defined for receiving of molecules to be detected. A recognizing device (17) is provided for recognizing of vibration of the resonance body. The device comprises a detection device for optical detection of location of a partial surface of the resonance body. The resonance body and the recognizing device are arranged on a substrate. The resonance body is formed by a recess of the substrate, which comprises quartz glass, sapphire, langasite, magnesium oxide and/or polymethylmethacrylate. DETAILED DESCRIPTION - INDEPENDENT CLAIMS are also included for the following: (1) a method for photo acoustic detection of molecules in a gas phase (2) a method for manufacturing the sensor. USE - Photo acoustic sensor for use in a sensor system for photoacoustic detection of molecules in a gas phase (all claimed). ADVANTAGE - The sensor is utilized in a universal manner at high temperatures and in explosion endangered areas. The sensor possesses increased reliability against electrical interference signals.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-159207.html