Fraunhofer-Gesellschaft

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Materialflussautomatisierung in der Mikrochipfertigung

Simulationsbasierte Robustheitsanalyse der Transport- und Lagerautomatisierung
Automated material handling systems for IC manufacturing industries - simulation-based robustness analysis of transport and storage automation
 
: Sturm, R.; Seidelmann, J.; Reddig, K.

wt Werkstattstechnik online 93 (2003), Nr.3, S.157-163
http://www.technikwissen.de/wt/
ISSN: 1436-4980
ISSN: 1436-5006
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Anlagenplanung; Simulation; Automatisierung; Mikroelektronik; Materialwirtschaft; Transport; Lager (Vorrat)

Abstract
Für die Untersuchung der Robustheit von Planungsvarianten automatisierter Transport- und Lagersysteme in Mikroelektronikfertigungen werden spezielle Simulationsmodelle benötigt. Der geeigneten Modellierung von internen sowie externen Störfaktoren, welche auf die Materialflussautomatisierung einwirken, kommt hierbei besondere Bedeutung zu. Weiterhin verlangt die Durchführung von Simulationsstudien eine geeignete Methodik für die Bewertung und die Quantifizierung der Robustheit der untersuchten Systeme. Das Fraunhofer IPA hat hierfür eine geeignete Methodik sowie entsprechende Modelle entwickelnt, um die Robustheit von automatisierten Overheadtransportsystemen, wie sie in der 200mm- und 300mm-Mikrochipfertigung zum Einsatz kommen, zu bewerten. Es werden verschiedene Aspekte bei der Robustheitsanalyse anhand eines Einschienen-Transportsystems erläutert. Die hierfür entwickelten Simulationsmodelle haben einen modularen und parametrisierten Aufbau und können mit geringem Aufwand für die Robustheitsanalyse unterschiedlicher Materialflussautomatisierungssysteme angepasst werden.

 

The simulation-based robustness analysis of automated material handling systems (AMHS) for microelectronics and semiconductor manufacturing demands adequate simulation models. The investigation of internal or external disturbing factors has to be considered carefully during the development of the model. Additionally, an approach for measuring and quantifying robustness based on AMHS simulation results is required. Fraunhofer IPA has developed simulation methods and robustness measurement approaches to investigate the robustness of automated overhead transportation systems used for 200mm and 300mm semiconductor wafer manufacturing. This paper outlines some aspects of robustness investigations with an interbay monorail system. The models used are generic and can easily be adapted to different AMHS solutions.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-15875.html