Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Laser Trimming of Micro Mirror Devices

 
: Haenel, J.; Keiper, B.; Bleul, K.; Kaufmann, C.; Bonitz, J.

Laser-Technik-Journal (2008), Nr.5, S.36-39
ISSN: 1613-7728
ISSN: 1863-9119
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-156423.html