Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Beschichtung großer Substrate für die Präzisionsoptik

 
: Schürmann, M.; Jobst, P.-J.; Müller, T.; Scheler, M.; Kaiser, N.

Photonik (2011), Nr.1, S.18
ISSN: 1432-9778
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Zur Verspiegelung großer und gekrümmter Substrate wurde eine Beschichtungstechnik entwickelt, mit der metallische und dielektrische Schichten separat in verschiedenen Kammern aufgebracht werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-155721.html