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2002
Conference Paper
Titel
Materialien zur Verwendung unter reinen Bedingungen
Alternative
Materials for their use under clean conditions
Abstract
Die Beherrschung der von Produktionsmitteln ausgehenden Kontaminationen ist zur Erstellung und der Aufrechterhaltung einer \'84reinen Fertigung" unumgänglich. Zur Unterstützung der Hersteller von Fertigungsanlagen für das Produzieren unter reinen Bedingungen benötigen diese Grundwerkstoffe und -materialien, die den geforderten Reinheitsansprüchen gerecht werden müssen. Hier ist nicht ausreichend, das in der klassischen Werkstoffprüfung untersuchte Verschleißverhalten zu berücksichtigen, vielmehr müssen hier die in die Reinraumumgebung emittierten Kontaminationen detektiert, beurteilt und klassifiziert werden. Damit Hersteller von Fertigungsanlagen und Betreiber von \'84reinen" Produktionen bei der Wahl reinraumtauglicher Materialien nicht auf rein optische Gesichtspunkte und subjektive, nicht wissenschaftlich abgesicherte Kriterien angewiesen sind, wird z.Zt. am FhG-IPA eine Vorgehensweise entwickelt, und mithilfe von Materialpaarungstests auf deren Anwendbarkeit überprüft.
Konferenz