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Konferenzschrift
Röntgenoptiken aus mikrostrukturiertem Silizium
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2007
Conference Paper
Titel
Röntgenoptiken aus mikrostrukturiertem Silizium
Author(s)
Zschenderlein, U.
Frühauf, J.
Straube, H.
Gärtner, E.
Kämpfe, B.
Luczak, F.
Zimny, F.
Petrick, H.
Böhme, H.
Hauptwerk
Mikro-System-Technik Chemnitz '07: Mikromechanik & Mikroelektronik
Konferenz
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 2007
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM