Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Improvement of solid Au-Si eutectic bond process

 
: Schwerdtner, R.; Froemel, J.; Wiemer, M.; Gessner, T.

Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik -IWM-, Freiburg/Brsg.:
Conference on Wafer Bonding for MEMS Technologies and Wafer Integration 2007. CD-ROM : 9th - 11th December 2007, Halle/Saale, Germany
Halle/Saale, 2007
Conference on Wafer Bonding for MEMS Technologies and Wafer Integration <2007, Halle/Saale>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-154619.html