Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Atomic layer deposition of copper and copper oxide for applications in microelectronic metallization systems
| Micromaterials and nanomaterials (2007), Nr.7, S.26-27
ISSN: 1619-2486 |
| Conference of Advanced Science (NanoScience) <5, 2007, Lichtenwalde> |
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| Englisch |
| Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM () |