Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Atomic layer deposition of copper and copper oxide for applications in microelectronic metallization systems

 
: Waechtler, T.; Schulz, S.E.; Oswald, S.; Gessner, T.

Micromaterials and nanomaterials (2007), Nr.7, S.26-27
ISSN: 1619-2486
Conference of Advanced Science (NanoScience) <5, 2007, Lichtenwalde>
Englisch
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-154610.html