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Modell zum Sortieren und Speichern von Einzelscheiben für die Fertigung integrierter Schaltkreise

 
: Kaufmann, T.

Heimsheim: Jost-Jetter Verlag, 2002, 130 S.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2002
IPA-IAO Forschung und Praxis, 371
ISBN: 3-936947-02-3
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IPA ()
integrierte Schaltung; Mikroelektronik; Silicium; Sortieren; Speichern

Abstract
In der IC-Fertigung gewinnt die Verkürzung der Durchlaufzeiten besonders bei der zukünftig zunehmenden Flexibilisierung der Fertigung verstärkt an Bedeutung. Der Logistikaufwand für Einzelscheiben an Sortierprozessen steigt mit der Einführung flexibler Losgrössen und neuer Kontaminationszonen aufgrund beispielsweise neuer Metallisierungsverfahren weiter an.
Im Rahmen der Arbeit wurde ein Modell entwickelt, das grundlegende Strukturen der Automatisierungssysteme abbildet und sowohl das neu konzipierte Logistische Zentrum wie auch existierende Automatisierungssysteme unterstützt. Ausserdem wurden systematisch alle Sortierprozesse mit ihren Scheibenarten und Hilfsmaterialien abgebildet.
Im Rahmen der Erprobung liessen sich entscheidende Verbesserungen bei der Fertigungsdurchlaufzeit von Sortiersoftware, die auf der Basis des Steuerungsmodells für Sortierprozesse mit Einzelscheiben entwickelt wurde, konnte die Gesamtdurchlaufzeit im Untersuchungsgebiet einer Prozesskette wesentlich gesenkt werden.
Das entwickelte Steuerungsmodell für Sortierprozesse und das konzipierte Logistische Zentrum zum Sortieren und Speichern leisten einen grundlegenden Beitrag zur effizienten Steuerung von Sortierprozessen mit Einzelscheiben in der Fertigung integrierter Schaltkreise.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-15461.html