Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Hochreflektiver mikromechanischer Scanner für Materialbearbeitung und medizinische Anwendungen

 
: Bonitz, J.; Kaufmann, C.; Gessner, T.; Bundesmann, C.; Eichentopf, I.-M.; Maendl, S.; Neumann, H.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2007 : 15.-17. Oktober, Dresden, Proceedings
Berlin: VDE-Verlag, 2007
ISBN: 3-8007-3061-8
ISBN: 978-3-8007-3061-2
S.513-516
MikroSystemTechnik Kongress <2007, Dresden>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-154574.html