Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Wafer-Level Active Testing of Capacitive Inertial Sensors
| Micromaterials and nanomaterials (2007), Nr.6, S.175
ISSN: 1619-2486 |
| World Congress MicroNanoReliability <1, 2007, Berlin> |
|
| Englisch |
| Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM () |