Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Wafer-Level Active Testing of Capacitive Inertial Sensors

 
: Nowack, M.; Reuter, D.; Rennau, M.; Bertz, A.; Gessner, T.

Micromaterials and nanomaterials (2007), Nr.6, S.175
ISSN: 1619-2486
World Congress MicroNanoReliability <1, 2007, Berlin>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-154566.html