Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Spektrale Vibrationsmessung mit mikromechanischen kraftgekoppelten Silizium-Schwingern

 
: Forke, R.; Scheibner, D.; Hiller, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Mehner, J.

Dötzel, W. ; TU Chemnitz:
Mikro-System-Technik Chemnitz '07: Mikromechanik & Mikroelektronik : 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007
Chemnitz, 2007
ISBN: 978-3-00-022168-2
S.67-72
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <8, 2007, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-154565.html