Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Vollautomatisierter Test von Mikrosystemen auf dem Wafer

 
: Giessmann, S.; Geissler, H.; Werner, F.-M.; Kurth, S.; Michael, S.; Rembe, C.; Klattenhoff, J.; Armbruster, B.; Shaporin, A.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2007 : 15.-17. Oktober, Dresden, Proceedings
Berlin: VDE-Verlag, 2007
ISBN: 3-8007-3061-8
ISBN: 978-3-8007-3061-2
S.75-78
MikroSystemTechnik Kongress <2007, Dresden>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-154076.html