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2010
Diploma Thesis
Titel
Charakterisierung der Ratenabhängigkeit und Optimierung der Ratenstabilität und Abscheidungshomogenität der VTE-Organikquellen sowie Vergleich mit OVPD-Quellen und einer Linearquelle der COMEDD Gen2 Pilotfertigungslinie
ThesisNote
Zwickau, Hochschule, Dipl.-Arb., 2010
Verlagsort
Dresden