Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Quasistatischer Mikroscanner mit vertikalen Kammantrieben als System-in-Package

 
: Jung, D.

TU Dresden, Institut für Halbleiter und Mikrosystemtechnik -IHM-:
Institut für Halbleiter und Mikrosystemtechnik. Jahresbericht 2009
Dresden, 2010
S.100-101
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-153040.html